[实用新型]一种真空镀膜生产线用平移架有效
| 申请号： | 202220456064.2 | 申请日： | 2022-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN217324284U | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 孙广大;张亚宁 | 申请（专利权）人： | 广东生波尔光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 中山卓融知识产权代理事务所(普通合伙) 44791 | 代理人： | 彭国军;赵钊 |
| 地址： | 528400 广东省中山市板芙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种真空镀膜生产线用平移架，包括底架组件和可移动地设于底架组件上的平移框组件，底架组件与平移框组件之间设有用于驱动平移框组件沿X轴方向运动的第一驱动装置，平移框组件上设有用于对基片架小车进行定位和导向的定位导向组件，平移框组件的底部设有用于驱动基片架小车沿Y轴运动的第二驱动装置。本实用新型不仅实现了基本的基片架小车的传输功能，而且还兼具了下料功能、平移功能和辅助实现存储功能，高度自动化，功能集成度高并减少了回架设备的数量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 生产线 平移 | ||
【主权项】：
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