[实用新型]一种测试载具及X射线衍射仪有效
| 申请号： | 202220490403.9 | 申请日： | 2022-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN217007076U | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 何志芳;李善文;李辉杰;颜虎 | 申请（专利权）人： | 常州纵慧芯光半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/207 | 分类号： | G01N23/207 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 严慧 |
| 地址： | 213000 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种测试载具及X射线衍射仪，测试载具包括样品台和锁紧结构，样品台包括承载外延片的第一表面、背离第一表面的第二表面以及贯穿样品台且间隔设置的至少三个边缘开口；锁紧结构与边缘开口对应设置；锁紧结构包括至少一个第一锁紧结构和至少一个第二锁紧结构，第一锁紧结构与样品台固定连接，第二锁紧结构与样品台可活动连接，通过设置与样品台固定连接的第一锁紧结构和与样品台可活动连接的第二锁紧结构，使得样品台能够稳固承载外延片，避免测试过程中外延片的移动，影响测试效果，提高测试成功率，同时降低外延片的碎片风险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 射线 衍射 | ||
【主权项】：
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