[实用新型]一种半导体测试机环境校正装置有效
| 申请号： | 202220516853.0 | 申请日： | 2022-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN217506105U | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 孙秀峰;邢涛;张伟 | 申请（专利权）人： | 上海伟测半导体科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R35/00 | 分类号： | G01R35/00;G01R1/04 |
| 代理公司： | 上海和华启核知识产权代理有限公司 31339 | 代理人： | 王娜娜 |
| 地址： | 201201 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种半导体测试机环境校正装置，包括屏蔽罩、通风管以及除湿装置；所述屏蔽罩与测试机外壁贴合；所述通风管的一端与所述屏蔽罩相连接，另一端与所述除湿装置相连接；所述除湿装置用于对测试机与所述屏蔽罩贴合的一侧除湿，使得测试机校准时表面温度以及湿度保持恒定。本实用新型通过上述装置的配合使用，使得测试机在校准时，其校准位置的温度以及湿度始终保持恒定，以避免因温度以及湿度的变化量过大而引发测试机校准误差过大的问题，以此来达到提升校准速率的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 测试 环境 校正 装置 | ||
【主权项】：
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