[实用新型]载板和载板组件

摘要

本实用新型公开了一种载板和载板组件，其中载板包括：基础板，基础板包括底板以及围绕底板边缘设置的侧板，侧板与底板形成容纳坑；及覆盖板，包括固定板、连接板及承载板，固定板和承载板分别与连接板的相对两端连接且朝相反方向延伸，覆盖板用于通过固定板设于基础板上，以使固定板贴合并覆盖侧板的顶壁，连接板与承载板位于容纳坑内，承载板与底板之间具有间距。上述载板分为基础板和覆盖板组合结构，在沉积非晶硅薄膜时，除去沉积在硅片表面的膜层，剩余大部分都沉积在上层覆盖板上，另外只有非常少量非晶硅薄膜会被沉积在下层基础板的边缘上，针对上述杂质在载板上各结构沉积情况不同给出不同的清洗方法，可以提高载板的清洗效果。