[实用新型]一种光刻板有效
| 申请号： | 202220536140.0 | 申请日： | 2022-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN217007958U | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 曹丹丹;文国昇;董国庆;朱帅 | 申请（专利权）人： | 江西兆驰半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 南昌旭瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 36150 | 代理人： | 刘红伟 |
| 地址： | 330000 江西省南昌市南*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光刻板，包括非芯片区以及围绕所述非芯片区设置的芯片区，所述非芯片区分别设于所述光刻板的两侧，所述非芯片区上设有对位标记单元，两个所述对位标记单元沿所述光刻板的其中一条中心轴线对称设置，所述对位标记单元包括并排设置的第一标记位和第二标记位，两个所述第一标记位之间的间距与两个所述第二标记位之间的间距不同。本实用新型中的光刻板解决了现有技术中的光刻板通用性差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刻板 | ||
【主权项】：
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