[实用新型]一种用于机台中孔口的侦测系统有效
| 申请号： | 202220536556.2 | 申请日： | 2022-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN217008009U | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 卫立 | 申请（专利权）人： | 和舰芯片制造（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/042 | 分类号： | G05B19/042 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 刘小峰;宋薇薇 |
| 地址： | 215025 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于机台中孔口的侦测系统，包括机台处理器；鼓风机；DVU，其与机台处理器通信；门部件，其通过DVU打开；孔口阀，其通过气管与CDA进气口连接并且孔口阀的开关受到CDA压力的控制；PVU，其与机台处理器通信且与气管连接并配置为关闭通往孔口阀的CDA以使CDA的压力为零，以使孔口阀常开；侦测装置，其配置为接收门部件的打开信号并对CDA进行侦测，当在应该使CDA的压力为零的情况下侦测到CDA存在压力并且压力超过预设阈值时断开鼓风机以使机台宕机。本实用新型可以在机台的PVU板异常时对通往孔口阀的CDA进行侦测，并由此在侦测到CDA异常时及时发出警报并使机台宕机，从而保护晶圆产品。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 机台 孔口 侦测 系统 | ||
【主权项】：
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