[实用新型]一种适用于红外真空镀膜机蒸发装置有效

专利信息
申请号: 202220557577.2 申请日: 2022-03-15
公开(公告)号: CN217459565U 公开(公告)日: 2022-09-20
发明(设计)人: 王杰;常飞;杜炳纯;张殿德 申请(专利权)人: 森霸传感科技股份有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24
代理公司: 广州市红荔专利代理有限公司 44214 代理人: 余志军
地址: 473300*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 实用新型涉及蒸发装置技术领域,尤其是一种适用于红外真空镀膜机蒸发装置,包括支撑板,支撑板的底部设置有电机,电机的轴端贯穿支撑板并圆周分布有多组蒸发块,所述蒸发块的底部固定安装有两组套管,套管的内侧活动插接有与蒸发块电阻板电连接的电极柱,本实用新型中通过设置的滑动连接的电极柱在弹簧的抵接下能够始终与电极片相抵接,相对于现有技术中固定连接的方式,本实用新型通过弹簧做来做间隙补偿,保证了电极柱与电极片的导电稳定性,当电极柱磨损严重后,可通过拆卸导向螺栓将其从套管的内部取出进行更换,操作简单,且实用性较强。
搜索关键词: 一种 适用于 红外 真空镀膜 蒸发 装置
【主权项】:
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