[实用新型]一种硅片储存清洁装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片储存清洁装置，包括箱体，箱体的内部设置有抽屉，抽屉的右侧固定连接有横板，箱体内壁的右侧固定连接有密封圈组，密封圈组的表面与抽屉的表面接触，箱体内壁的顶部开设有放置槽一，放置槽一内壁的顶部固定连接有分流板，分流板的输入端贯穿至箱体的左侧，箱体的左侧固定连接有水箱，水箱的顶部通过通管连通有水泵，水泵的输出端通管通管与分流板的输入端连通，箱体内壁的底部开设有集水槽。本实用新型具备了储存过程中清洁的优点，解决了传统的硅片储存装置缺少清洁结构，无法对硅片储存装置内部的硅片进行清洁，需要工作人员取出后逐个手动清洗，容易造成降低硅片储存效率的问题。