[实用新型]一种光刻胶管道清洗液回收利用系统

摘要

本实用新型公开了一种光刻胶管道清洗液回收利用系统，包括溶剂罐、反应釜、成品罐、废液罐、精馏塔、冷凝器和溶剂回收罐，溶剂回收罐与精馏塔及冷凝器连接，冷凝器与精馏塔连接，精馏塔与废液罐连接，废液罐与反应釜及成品罐连接，成品罐与反应釜连接，反应釜与溶剂罐连接；溶剂回收罐的出料口与成品罐及反应釜通过循环管路连接，循环管路与反应釜及成品罐连接，成品罐和反应釜内均设置有喷淋清洗球，喷淋清洗球与循环管路连接；废液罐设置在反应釜及成品罐的下方。本实用新型采用上述结构的一种光刻胶管道清洗液回收利用系统，减少了有机溶剂的消耗，降低了成本，解决了浸泡时间长、耗时的问题。