[实用新型]带有椭球形反射器的同轴电子探测器及扫描电子显微镜

摘要

本实用新型公开了一种带有椭球形反射器的同轴电子探测器及具有该同轴探测器的扫描电子显微镜，包括同轴电子探测器本体和椭球形反射器，所述椭球形反射器包括托盘和椭球形反射镜，所述托盘具有中心孔，所述椭球形反射镜的顶部沿所述中心孔的四周与所述托盘的底部连接，所述托盘顶部位于所述椭球形反射镜的上侧焦点的下方，所述同轴电子探测器本体位于所述托盘的顶部。本实用新型在现有同轴电子探测器的基础上增加椭球形反射器，利用椭球形反射镜所具有的从其中一个焦点发射的光或电子会在另一焦点会聚的特性，对超过同轴电子探测器探测尺寸的信号电子进行会聚，使其向同轴电子探测器探测尺寸内反射，大大提高了同轴电子探测器的探测效率。