[实用新型]一种晶圆分选设备有效
| 申请号： | 202220598443.5 | 申请日： | 2022-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN217043543U | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 胡争光;师利全;李小根;罗东;贺天文;甘恩荣;吴嘉睿 | 申请（专利权）人： | 深圳市鑫三力自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/34 | 分类号： | B07C5/34;B07C5/02;B07C5/36;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司： | 深圳市中联专利代理有限公司 44274 | 代理人： | 尹怀勤 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆分选设备，包括机架、上料机构、摆臂机构、晶圆平台机构、Bin盘平台机构、晶圆顶针机构、Bin盘顶膜机构和CCD对位系统。工作时，上料机构夹持晶圆盘放入到晶圆平台上，上料机构夹持Bin盘放入到Bin盘平台上，晶圆平台机构移动到CCD搜索、对位位置，CCD对位系统对晶圆进行搜索、对位，Bin盘平台机构移动到CCD对位、检测位置，CCD对位系统对晶圆进行对位、检测，晶圆顶针机构将晶圆上的晶粒顶出，摆臂机构上的吸嘴吸住晶粒，摆臂机构旋转，Bin盘顶针机构顶起Bin盘膜，摆臂机构将晶粒放置在Bin盘上。本实用新型的高速晶圆分选设备具有速度块、精度高、适用产品类型多等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分选 设备 | ||
【主权项】：
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