[实用新型]一种LD激光芯片加工生产装置有效
申请号: | 202220618186.7 | 申请日: | 2022-03-17 |
公开(公告)号: | CN217009169U | 公开(公告)日: | 2022-07-19 |
发明(设计)人: | 蔡志宏;张文;杨劲华 | 申请(专利权)人: | 武汉芯荃通科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/67 |
代理公司: | 北京和联顺知识产权代理有限公司 11621 | 代理人: | 徐冬冬 |
地址: | 430000 湖北省武汉市江夏区经济开发区藏龙岛梁*** | 国省代码: | 湖北;42 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种LD激光芯片加工生产装置,包括机体,所述机体的上端固设有支架,所述机体的上方活动设置有方形架,所述方形架与支架之间转动设置有呈平行分布的支臂,所述方形架的内部滑动设置有两个从动块,两个所述从动块相对的一端固设有紧固夹板,所述方形架上设置有控制两个紧固夹板对向移动的部件。本实用新型中,将转动设置在支臂自由端的方形架送至芯片加工机构的工作区间,即可对芯片进行加工处理,通过可移动的紧固机构,将负责对芯片夹紧的紧固机构移出芯片加工区,方便工作人员对芯片与紧固机构之间的接设,从而达到便于工作人员操作使用的目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 ld 激光 芯片 加工 生产 装置 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造