[实用新型]一种具有多尺寸硅片传输功能的传输机构

摘要

本实用新型涉及硅片传输附属装置的技术领域，特别是涉及一种具有多尺寸硅片传输功能的传输机构，其结构简单，可自动将不同尺寸的硅片输送到花篮处，提高搬运效率；包括花篮以及位于花篮一侧的底板，底板上固定有导轨、支撑板和机架，支撑板和机架分别处于导轨的两侧，导轨上滑动安装有调节座，调节座上固定有基板，基板顶部两端均滑动安装有L型板，还包括伸缩传输机构，伸缩传输机构包括两组导轮机构，套装在导轮机构上的传送带以及用于驱动传送带运转的电机，导轮机构包括与L型板靠近花篮一端转动连接的调节轮一、与L型板靠近基板一端转动连接的调节轮二、与支撑板转动连接的导轮一以及与支架转动连接的多个导轮二。