[实用新型]一种单晶硅检测台装置

摘要

本实用新型属于单晶硅检测台技术领域，尤其是一种单晶硅检测台装置，针对目前生产上使用的检测平台功能比较简单，不能准确定位，不适合自动尺寸检测设备，不适合机器人自动上下料应用，检测台表面都是裸露的金属，容易划伤晶棒，各工位是否有晶棒不能进行识别的问题，现提出如下方案，其包括检测平台支架，检测平台支架上设置有伺服移栽机构，伺服移栽机构上连接有升降气缸，升降气缸上连接有夹紧气缸，夹紧气缸之间设置有单晶硅棒，检测平台支架上设置有对射传感器和聚氨酯支撑条。本实用新型可以实现整个加工设备晶棒上下料和检测过程的完全自动化，提高了工作效率并，且有效保护了工作人员不受伤害。