[实用新型]一种真空等离子机纠偏系统的轴向运动的密封结构有效
| 申请号： | 202220668210.8 | 申请日： | 2022-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN217130333U | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 罗正刚;潘广艺 | 申请（专利权）人： | 苏州福莱科斯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | F16J15/3284 | 分类号： | F16J15/3284;F16J15/3268 |
| 代理公司： | 苏州欣达共创专利代理事务所(普通合伙) 32405 | 代理人： | 范玉敏 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种轴向运动的密封结构，尤其涉及一种真空等离子机纠偏系统的轴向运动密封结构。本实用新型采用的技术方案是：一种真空等离子机纠偏系统的轴向运动密封结构，包括轴向运动轴、真空腔体侧板、腔体内部连接法兰、腔体外部连接法兰，所述轴向运动轴依次穿过所述腔体外部连接法兰、真空腔体侧板以及腔体内部连接法兰，所述轴向运动轴位于真空腔体侧板外部的轴身的端部与纠偏机相连接，所述腔体内部连接法兰内部设有密封组件Ⅰ，所述腔体外部连接法兰内部设有密封组件Ⅱ。本实用新型的优点是：结构合理，彻底解决了真空等离子设备腔体内外轴向运动的传动以及密封还有耐腐蚀性的要求，测试轴向运动时的真空密封效果可达到零泄露。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 等离子 纠偏 系统 轴向 运动 密封 结构 | ||
【主权项】：
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