[实用新型]晶圆测试装置

摘要

本实用新型公开的属于半导体零件技术领域，具体为晶圆测试装置，包括测试工作台，所述测试工作台顶端安装有箱体，所述箱体顶端内壁开设有圆形凹槽，所述测试工作台底端固定连接有固定框，还包括与箱体连接的测试定位结构，所述吸附组件底端与固定框内壁底端固定连接，所述限位调节组件底端与圆形凹槽内壁底端固定连接，本实用新型控制伸缩杆一、伸缩杆二，根据晶圆的大小调节环形支撑板一、环形支撑板二，对晶圆进行限位，避免跑偏，同时控制伸缩杆拉动活塞，通过拉动活塞吸气，通过传输管带动吸盘将晶圆吸附固定，通过橡胶垫避免倾斜漏气，方便后续测试，使用方便、提高测试效率和测试的精确度。