[实用新型]一种晶圆搬运装置及晶圆检测设备有效
| 申请号： | 202220692769.4 | 申请日： | 2022-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN217359573U | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 曾凡贵 | 申请（专利权）人： | 矽电半导体设备（深圳）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/84;G01R31/265 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆搬运装置及晶圆检测设备。一种晶圆搬运装置包括有晶圆搬运部，所述晶圆搬运部包括，连接于直线导轨的搬运手，搬运手沿直线导轨延伸长度小于直线导轨。在直线导轨限定的基础上不会增加搬运手复位占用的空间，从而减小晶圆搬运装置占用空间，提升晶圆检测效率；且所述搬运手沿直线导轨延伸，通过直线导轨限定搬运手运动方向及行程范围，便于通过直线导轨的延伸方向提升搬运手运动方向及范围，减少使用人员的错误操作，增加安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 搬运 装置 检测 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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