[实用新型]一种硼扩散炉的炉口双密封装置有效
| 申请号： | 202220736594.2 | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN217600917U | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 陈骏;赵增超;李明;黄嘉斌;谢湘洲;周小荣;刘湘祁;申凯琳 | 申请（专利权）人： | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/00 | 分类号： | C30B31/00 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 覃族 |
| 地址： | 410205 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硼扩散炉的炉口双密封装置，包括：炉门、炉管和石英环；所述炉管为一端开口的管状结构，且炉管的开口端外周与石英环内侧密封连接，炉管与石英环形成一体结构；所述石英环的外轮廓呈阶梯形，所述炉门的内侧呈凹形，且炉门内侧设有双层密封结构，所述石英环与炉门嵌套连接，以实现硼扩散炉的炉口密封。本实用新型的炉口双密封装置具有结构紧凑、安装便捷、密封效果显著且密封圈使用寿命长等优点，提高了反应室内的密封可靠性，降低了设备运行和维护的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 炉口双 密封 装置 | ||
【主权项】：
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