[实用新型]作用于MEMS传感器的多功能老化装置有效
| 申请号： | 202220784671.1 | 申请日： | 2022-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN217521106U | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 蒯贇;赵羽;汪派 | 申请（专利权）人： | 安徽维纳物联科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 | 代理人： | 闫客 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市蜀山经济开发*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种作用于MEMS传感器的多功能老化装置，属于电子技术领域，包括通电老化电路、底座和气体容器，待老化传感器经底座与通电老化电路连接，底座和待老化传感器置于气体容器内。本实用新型通电老化电路经底座与待老化的传感器连接，用于对传感器通电，使传感器运行老化；通电运行一段时间后，通过向气体容器中打入一定种类和浓度的气体，模拟实际应用场景，测试老化过后的MEMS传感器是否符合使用人员要求。因此，该老化装置是一种具有老化模式和测试模式的多功能老化装置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 mems 传感器 多功能 老化 装置 | ||
【主权项】：
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