[实用新型]MEMS器件有效
| 申请号： | 202220812777.8 | 申请日： | 2022-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN217264846U | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 庄瑞芬 | 申请（专利权）人： | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B7/00 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了MEMS器件，属于传感器技术领域，包括：支撑结构、位于支撑结构上的器件结构和位于器件结构上的盖顶结构；在器件结构和盖顶结构中设置至少两个腔体；至少一个腔体包括气孔，腔体通过气孔与外界连通；气孔位于盖顶结构中。本实用新型的MEMS器件，通过设置气孔，气孔位于盖顶结构，便于后续对盖顶结构进行减薄，改变气孔的深度。MEMS器件中一个腔体真空度为初始真空度；另一个腔体的真空度为将该腔体开孔后，再进行重密封开孔后环境的真空度，使得MEMS器件的真空度发生改变。 | ||
| 搜索关键词： | mems 器件 | ||
【主权项】：
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