[实用新型]电气控制柜及半导体工艺设备有效
| 申请号： | 202220852281.3 | 申请日： | 2022-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN217444862U | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 许文学 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H02B1/30 | 分类号： | H02B1/30;H02B1/28;B01D33/46 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 兰天爵 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开一种电气控制柜及半导体工艺设备，所述电气控制柜用于半导体工艺设备，所述电气控制柜包括柜体、待散热器件、过滤网、清扫件和驱动机构，其中：所述待散热器件、所述过滤网、所述清扫件和所述驱动机构均设于所述柜体内；在所述待散热器件的相背两侧中，至少有一侧设有所述过滤网，且所述过滤网与所述待散热器件相对布置；所述清扫件与所述过滤网一一对应设置，且所述清扫件与所述过滤网相抵接，所述驱动机构与所述清扫件相连，并用于驱动所述清扫件移动，以清扫所述过滤网。上述方案能够简化电气控制柜内的过滤网的清洁流程。 | ||
| 搜索关键词： | 电气控制 半导体 工艺设备 | ||
【主权项】：
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