[实用新型]一种可测试密封性的晶圆电镀挂具有效
| 申请号： | 202220852520.5 | 申请日： | 2022-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN217077840U | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 何志刚;薛宽宽;刘建新 | 申请（专利权）人： | 上海戴丰科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/08 | 分类号： | C25D17/08 |
| 代理公司： | 苏州所术专利商标代理事务所(普通合伙) 32473 | 代理人： | 孙兵 |
| 地址： | 201600 上海市松江区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种可测试密封性的晶圆电镀挂具，包括主板体和后盖，所述主板体上设有开口，在所述主板体上设有包围所述开口的第一密封圈，晶圆的待电镀面的边部与所述第一密封圈相贴靠，在所述后盖与主板体之间还设有第二密封圈；所述主板体内设有进气通道，所述进气通道的进气口位于挂具上部不接触电镀液的区域，所述进气通道的出气口连通至所述第一密封圈和第二密封圈所形成的封闭空间。本实用新型相较于现有技术，在挂具上设置连通到第一密封圈和第二密封圈所形成的封闭空间的进气通道，在晶圆安装到挂具上之后，可借助于气密性检测设备，对晶圆与第一密封圈之间的密封性进行检测，以确保密封可靠性，确保电镀效果，提升挂具使用安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 密封性 电镀 | ||
【主权项】：
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