[实用新型]管道堵塞物清除机构及晶圆生产设备有效
| 申请号： | 202220856167.8 | 申请日： | 2022-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN217251290U | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 徐科;李健鹏;吴侃 | 申请（专利权）人： | 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/047 | 分类号： | B08B9/047;H01L21/67 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 312000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种管道堵塞物清除机构及晶圆生产设备，晶圆生产设备包括管道及管道堵塞物清除机构，管道堵塞物清除机构的部分地收容于管道内，并能够沿管道的内壁作往复直线运动，以刮除堵塞于管道内的堵塞物。管道堵塞物清除机构包括用于刮除堵塞物的刮削治具及驱动模块，驱动模块配接于刮削治具，用于驱动刮削治具往复移动，使刮削治具能够在驱动模块的驱动下沿管道的内壁往复移动，在不影响晶圆生产设备正常工作的前提下，能够在无需借助人力的情况下清除堆积在管道内的堵塞物，从而可阻止晶圆生产设备的真空泵堵塞及管路堵塞，避免了因抽气效率低下引起的产品报废，提高了产品良率；并减少了人力成本，避免了安全事故的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 管道 堵塞 清除 机构 生产 设备 | ||
【主权项】：
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