[实用新型]一种硅片酸制绒绒面残留物清洗装置有效

专利信息
申请号: 202220949492.9 申请日: 2022-04-24
公开(公告)号: CN217251176U 公开(公告)日: 2022-08-23
发明(设计)人: 赵刚;葛亮 申请(专利权)人: 江苏龙恒新能源有限公司
主分类号: B08B3/12 分类号: B08B3/12;B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67
代理公司: 无锡三谷高智知识产权代理事务所(普通合伙) 32569 代理人: 陈勤
地址: 223802 江苏省宿迁*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种硅片酸制绒绒面残留物清洗装置,包括清洗机台,清洗机台包括预清洗槽和循环清洗槽,清洗机台上设有用于带动硅片进行清洗的托架,预清洗槽和循环清洗槽内部设有用于带动托架上硅片清洗的下料机构,下料机构包括用于对托架上的硅片进行固定的固定扣,清洗机台上设有用于带动托架在预清洗槽和循环清洗槽上方传送的传送机构,传动机构包括延伸块,延伸块与清洗机台可拆卸连接,托架内设有用于对硅片残留物进行收集的收集组件,预清洗槽和循环清洗槽能够对硅片进行双重清洗,旨在对硅片进行智能化双重清洗,提高制绒清洗的清洗效率,降低硅片在多次清洗上下料时破损的概率,优化操作人员的工作效率。
搜索关键词: 一种 硅片 酸制绒绒面 残留物 清洗 装置
【主权项】:
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