[实用新型]一种循环式半导体设备超声清洗机构有效
申请号: | 202220970320.X | 申请日: | 2022-04-25 |
公开(公告)号: | CN217647040U | 公开(公告)日: | 2022-10-25 |
发明(设计)人: | 王宁 | 申请(专利权)人: | 无锡纳斯凯半导体科技有限公司 |
主分类号: | B08B3/12 | 分类号: | B08B3/12;B08B3/02;B08B3/04;B08B13/00 |
代理公司: | 南京普睿益思知识产权代理事务所(普通合伙) 32475 | 代理人: | 曹花 |
地址: | 214000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种循环式半导体设备超声清洗机构,包括壳体,所述壳体的两侧内壁均开设有两个滑槽,滑槽内活动连接有清洗盒,清洗盒的底部外壁固定连接有多个拉簧,且拉簧与壳体相固定,所述清洗盒的一侧外壁固定连接有齿条,所述壳体的一侧外壁固定连接有电机,且电机输出轴的一端穿过壳体并固定连接有缺齿轮,且缺齿轮与齿条相啮合,所述壳体的一侧内壁固定连接有固定块。本实用新型不仅能够通过齿条和缺齿轮的配合使用,使清洗盒内的物体得到充分清洗,提高了装置的清洗效果,而且能够通过拨杆使U型管道带动喷头上下摆动,提高了装置的使用效果,还能够通过导向杆对清洗盒进行导向,提高了装置的导向效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 循环 半导体设备 超声 清洗 机构 | ||
【主权项】:
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