[实用新型]一种基于硅片容器的分合片机构及系统有效
| 申请号： | 202221053474.9 | 申请日： | 2022-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN217675481U | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 吴廷斌;张学强;张建伟;罗银兵;王政诗 | 申请（专利权）人： | 罗博特科智能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/91 | 分类号： | B65G47/91;B65G47/90;B65G47/82;B65G49/07 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 陈明 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于硅片容器的分合片机构及系统，包括硅片推送组件，包括第一推送模块、第二推送模块、吸盘模块，第一推送模块安装于待插片的硅片容器的一侧，第二推送模块安装于第一推送模块的一侧，且吸盘模块安装于第二推送模块内；硅片定位组件，包括第一驱动件、第一移动件，第一驱动件安装于待插片的硅片容器的一端，且与第一移动件连接，第一移动件设有若干齿槽；硅片抓取组件，包括第二驱动件、第二移动件、转动件、抓取模块，第二移动件分别与第二驱动件以及转动件连接，转动件与抓取模块连接。本实用新型将硅片容器作为硅片搬运的载具，能够实现工站式作业，提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 硅片 容器 分合 机构 系统 | ||
【主权项】：
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