[实用新型]一种用于半导体行业尾气中的氦气回收装置

摘要

本实用新型属于半导体尾气技术领域，具体为一种用于半导体行业尾气中的氦气回收装置，包括箱体，所述箱体顶部右侧安装有气泵，所述气泵通过管道连通箱体内腔体，所述腔体内中部安装有渗透膜，所述腔体底部安装有抽风泵，所述腔体内顶部安装有压力泵，所述压力泵外壁安装有压力传感器。本实用新型通过压力传感器检测腔体内气压，当腔体内气压低于阈值时，抽风机启动，通过渗透膜过滤氯气，当腔体上部内压力大于阈值，启动压力泵将气体通过电控发排出，采用渗透膜进行脱离于氦气，通过采用呼吸和泄压的方式使得废气中的氦气单独滤出回收，同时有利于尾气其他气体完成分层处理。