[实用新型]惯性传感器有效
| 申请号： | 202221064550.6 | 申请日： | 2022-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN217350763U | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 安力佳;庄瑞芬;张沛 | 申请（专利权）人： | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00;G01D11/00 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 黄海霞 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种惯性传感器包括MEMS装置和盖体，所述MEMS装置包括MEMS结构和第一键合面，所述盖体包括第二键合面，所述第一键合面包括第一介质部和第一金属部，所述第二键合面包括第二介质部和第二金属部，且所述第一介质部围绕所述第一金属部的侧壁设置，所述第二介质部围绕所述第二金属部的侧壁设置，所述第一介质部和所述第二介质部的材料为氧化硅或硅，所述第一介质部和所述第二介质部中的至少一个的材料为氧化硅；所述第一介质部与所述第二介质部键合，所述第一金属部与所述第二金属部键合。本实用新型有效保证了MEMS结构的密封性，实现了MEMS结构的高可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 惯性 传感器 | ||
【主权项】：
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