[实用新型]蒸汽干燥机有效

专利信息
申请号: 202221069008.X 申请日: 2022-05-06
公开(公告)号: CN217768299U 公开(公告)日: 2022-11-08
发明(设计)人: 张少阳;李佳森 申请(专利权)人: 苏州芯矽电子科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;F26B21/00
代理公司: 南京艾普利德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32297 代理人: 陆明耀
地址: 215000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型揭示了一种蒸汽干燥机,包括顶端设置有放料口的壳体;所述壳体内形成有加热区和烘干区,两者之间通过油浴加热板隔离;所述放料口居中设置于所述烘干区的顶端,且两者连通;所述壳体的加热区侧壁上设置有用于注入IPA溶液的IPA进口,所述加热区加热后产生的IPA蒸汽进入所述烘干区;所述烘干区的外壁上设置有IPA回收管,且所述IPA回收管的输出端连接至所述加热区上;IPA蒸汽液化后通过所述IPA回收管再次进入所述加热区。本实用新型的有益效果体现在:将加热后产生的IPA蒸汽液化成IPA液体,并将IPA液体回收至IPA回收口中再次进入加热区进行循环使用,降低IPA的消耗,起到节约IPA的目的,同时减少对外部环境的污染。
搜索关键词: 蒸汽 干燥机
【主权项】:
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