[实用新型]一种集成电路生产洁净室系统

摘要

本实用新型公开了一种集成电路生产洁净室系统，属于洁净室技术领域，其技术方案要点包括洁净室主体，所述洁净室主体的后侧固定连通有空调机组，所述洁净室主体的右侧固定连通有回风箱，所述回风箱的内部活动连接有回风机构，所述回风箱的前侧固定连接有电机，解决了现有的洁净室系统为了控制洁净室内温度等参数，需要不断对洁净室内进行降温处理，而通常通过将室内回风和室外新风冷却通入洁净室内，但回风进入洁净室系统内时与新风共用一个过滤结构，因此容易增加了过滤结构的负载，加快过滤结构的堵塞速率，从而容易使过滤结构堵塞，使过滤结构失去了过滤功能，导致洁净室不能正常的使用，从而影响使用效果的问题。