[实用新型]一种半导体晶圆光学字符识别自动切换装置有效
| 申请号： | 202221098703.9 | 申请日： | 2022-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN218038004U | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 余君山;王伟忠;刘红军 | 申请（专利权）人： | 上海新创达半导体设备技术有限公司 |
| 主分类号： | G06K7/10 | 分类号： | G06K7/10 |
| 代理公司： | 广州京诺知识产权代理有限公司 44407 | 代理人： | 于睿虬 |
| 地址： | 201306 上海市浦东新区中国(上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体晶圆光学字符识别自动切换装置，包括晶圆校准器、晶圆托盘、传感器和读码器，所述晶圆校准器用于晶圆对中以及寻边，所述晶圆托盘设置在晶圆校准器上，所述晶圆托盘可在8吋工位和12吋工位之间进行滑动切换，并且可绕轴旋转，所述传感器设置在晶圆校准器上，所述传感器用于识别晶圆托盘上是否有晶圆，所述读码器设置在晶圆校准器一侧，所述读码器可在8吋晶圆读码位置和12吋晶圆读码位置之间滑动切换；所述读码器的滑动切换轨迹与所述晶圆托盘的滑动切换轨迹之间具有45度夹角。本实用新型在节约成本的同时，大幅减小了晶圆的传输时间，使得最大化提高生产效率得以实现。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 圆光 字符 识别 自动 切换 装置 | ||
【主权项】：
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