[实用新型]一种多腔微波等离子体化学气相沉积装置

摘要

本实用新型涉及一种多腔微波等离子体化学气相沉积装置，包括反应腔，反应腔的下端面设置有出料口；闭合盖，上下移动安装在反应腔的出料口下方；分隔机构，包含若干按等角度环绕设置在定位件四周的隔离件、隔离件向外分别固接到反应腔的内侧壁，向内分别通过相应的衔接件连通定位件；基底座，安装在所述闭合盖的上部并套装于定位件内部；若干基片台，分别设置在相应的隔离件内、并通过相应的连杆固定安装在基底座的上端部；若干密封机构，闭合盖上升关闭所述反应腔时，通过密封机构分隔隔离件和定位件。本实用新型为结构紧凑的多腔室沉积，便于统一操作，降低生产成本，提高生产效率。