[实用新型]一种晶圆转换治具

摘要

本实用新型公开了一种晶圆转换治具，包括工作台，所述工作台的上表面左侧固定连接有第一连接框，所述工作台的上表面开设有空腔，且空腔内设置有第二连接框，所述第一连接框和第二连接框的外表面均固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有双向螺纹杆，所述双向螺纹杆的外壁螺纹连接有螺纹块，所述螺纹块的外表面固定连接有连接块，所述工作台的上表面固定连接有第二电机，所述第二电机的输出端固定连接有转动轴，所述转动轴的上端固定连接有转盘。本实用新型中，通过第二电机的驱动作用，可实现转盘的转动，进而可实现导杆带动推块进行移动，可将满载晶圆盒内的晶圆推至空载晶圆盒内，完成对晶圆的转换。