[实用新型]一种用于拉晶炉的隔离阀及拉晶炉有效
申请号: | 202221161349.X | 申请日: | 2022-05-13 |
公开(公告)号: | CN217438339U | 公开(公告)日: | 2022-09-16 |
发明(设计)人: | 毛勤虎 | 申请(专利权)人: | 西安奕斯伟材料科技有限公司 |
主分类号: | C30B27/02 | 分类号: | C30B27/02;C30B29/06 |
代理公司: | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人: | 姚勇政;王哲 |
地址: | 710100 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型实施例公开了一种用于拉晶炉的隔离阀及拉晶炉,所述隔离阀设置在所述拉晶炉的主炉室和副炉室之间,所述隔离阀包括:阀座,所述阀座形成有用于将所述主炉室和所述副炉室连通的通道;阀盖,所述阀盖用于封闭所述通道;供气装置,所述供气装置用于将保护性气体供应至所述阀盖的在所述阀盖将所述通道封闭时面向所述主炉室的内表面。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 拉晶炉 隔离 | ||
【主权项】:
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