[实用新型]一种光刻系统及其光刻胶自动供给装置有效
| 申请号： | 202221176412.7 | 申请日： | 2022-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN218158724U | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 金在植;林锺吉;张成根 | 申请（专利权）人： | 成都高真科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B65G47/90 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 林菲菲 |
| 地址： | 610000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光刻系统及其光刻胶自动供给装置，光刻胶自动供给装置，包括供应组件和运输组件；所述供应组件包括多个承载台，所述承载台用于承载光刻机瓶；且所述承载台能够在水平方向移动；所述运输组件用于将光刻胶耗尽的光刻胶瓶从供应组件中取出或将根据光刻胶瓶上的FRID标签信息将新的光刻胶瓶运输至相应承载台上。本实用新型利用FRID自动识别光刻胶瓶的信息，并根据识别结果采用自动输送装置将其运输到供给位置进行供给。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 系统 及其 自动 供给 装置 | ||
【主权项】：
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