[实用新型]一种硅料酸洗装置有效
申请号: | 202221189827.8 | 申请日: | 2022-05-18 |
公开(公告)号: | CN217963813U | 公开(公告)日: | 2022-12-06 |
发明(设计)人: | 沙彦文;董长海;苏波;孟成;温洋;麦长彪;周小渊;贺俊杰 | 申请(专利权)人: | 宁夏中晶半导体材料有限公司 |
主分类号: | B08B3/08 | 分类号: | B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00 |
代理公司: | 宁波海曙甬睿专利代理事务所(普通合伙) 33330 | 代理人: | 郭红 |
地址: | 755100 宁夏回*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种硅料酸洗装置,属于硅料加工技术领域,其技术方案要点包括酸洗装置本体,所述酸洗槽包括呈圆柱状的酸洗槽,所述酸洗槽的顶部安装有缩颈部,所述缩颈部的上端面安装有喇叭口,从而在酸洗的过程中,缩颈部可起到收口的作用,且可挡住酸液外流,同时减少了酸洗篮移出造成酸液浪费,接着通过酸洗篮上的提手摆动酸洗篮,使得酸洗篮带动支撑台和转盘转动,促使转盘稳定酸洗篮转动,可轻松将酸洗篮进行摆动,从而实现硅料酸洗增强了硅料摆动,可将硅料进行充分酸洗,进而提高酸洗表面质量,降低返工率,同时由于酸洗槽采用圆柱体,在同液位情况下可以承装较少酸液,降低酸液初始量。 | ||
搜索关键词: | 一种 酸洗 装置 | ||
【主权项】:
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