[实用新型]一种应用于薄膜沉积腔体的调压阀门有效
| 申请号： | 202221217046.5 | 申请日： | 2022-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN217482019U | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 唐俊;童洲 | 申请（专利权）人： | 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | F16K5/06 | 分类号： | F16K5/06;F16K5/08;F16K49/00;F16K27/06 |
| 代理公司： | 上海骁象知识产权代理有限公司 31315 | 代理人： | 柏祝扣 |
| 地址： | 315100 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种应用于薄膜沉积腔体的调压阀门，包括阀体，所述阀体内滑动设有阀芯，所述阀芯设置成球形结构，且所述阀芯中部开设有通孔，所述阀芯一侧设有控制组件，所述阀体外壁固定有加热套，所述阀芯内固定嵌设有电热丝，所述控制组件包括圆筒，所述阀体一侧外壁固定嵌设有圆筒，所述圆筒内滑动设有阀杆。本阀门能够利用加热套和电热丝对阀体的内部进行加热，使得阀体内的温度分部较为均匀，使得气体到阀门时就不会凝固，仍然保持气体状态并排出，并且能够便于在将阀门打开或者闭合时能够对阀芯进行固定，从而能够防止阀芯发生转动导致阀门打开不彻底或者闭合不严。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 薄膜 沉积 调压 阀门 | ||
【主权项】：
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