[实用新型]一种蒸发坩埚及电子束蒸发卷绕镀膜设备有效
| 申请号： | 202221308444.8 | 申请日： | 2022-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN217556272U | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 孔令镇;麦耀华;朱红兵;沈凯;吴绍航;顾垂风;阮汉飞 | 申请（专利权）人： | 广东腾胜科技创新有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/56 |
| 代理公司： | 东莞高瑞专利代理事务所(普通合伙) 44444 | 代理人： | 杨英华 |
| 地址： | 526000 广东省肇庆市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蒸发坩埚及电子束蒸发卷绕镀膜设备，一种蒸发钳锅，包括底座和设于底座的锅体，底座设有驱动机构和水冷盖板，该驱动机构连接有转臂和转轴，驱动机构驱动转轴转动，转轴带动转臂转动，转臂与水冷盖板连接、带动水冷盖板绕转轴运动，使水冷盖板与底座分开或盖在底座上。一种电子束蒸发镀膜设备，包括上述的蒸发钳锅。本实用新型提供一种蒸发钳锅及电子束蒸发卷绕镀膜设备，蒸发钳锅在镀膜结束后盖上水冷盖板，可快速阻断钳锅温度对镀膜基材的影响，简化常规镀膜设备的边跑膜边降温的操作，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 坩埚 电子束 卷绕 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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