[实用新型]AMAT 300MM TXZ CHAMBER新型边缘环有效
| 申请号： | 202221411503.4 | 申请日： | 2022-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN219136870U | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 俞素珍 | 申请（专利权）人： | 上海陆派实业有限公司 |
| 主分类号： | C22B3/02 | 分类号： | C22B3/02;C23C16/34;C23C16/458 |
| 代理公司： | 安徽思沃达知识产权代理有限公司 34220 | 代理人： | 李彦程 |
| 地址： | 200233 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | AMAT 300MM TXZ CHAMBER新型边缘环，所述边缘环设置为环状，所述边缘环的外径为347.84mm，所述边缘环的内径为296.55mm；相比于传统的设计，本方案省去用三颗螺丝固定的麻烦，保养人员更省事省时，缩短了时间，提高了设备生产的时间，提高了设备利用率；本方案的边缘环比较厚，加工难度降低，不容易在高温下变形，杜绝了高温造成内侧变形翘起，晶圆被顶起而导致受热不均现象，从而改善了CVD氮化钛工艺的厚度均匀性问题，解决了设备报警，产品报废问题；本产品的清洗次数也有提升，提升了零件寿命，降低了成本；原有设计两个贴合不紧处易累积颗粒，而本产品完全不存在此问题，减少了颗粒的产生，提高了产品品质。 | ||
| 搜索关键词： | amat 300 mm txz chamber 新型 边缘 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海陆派实业有限公司，未经上海陆派实业有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202221411503.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种手部气压治疗辅助装置
- 下一篇：前后轴承距离调整组合工装
