[实用新型]一种改善石墨舟高频的陶瓷杆有效
| 申请号： | 202221416743.3 | 申请日： | 2022-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN218299767U | 公开（公告）日： | 2023-01-13 |
| 发明（设计）人： | 王军昭;陈正飞;陆宁;石雷 | 申请（专利权）人： | 江苏顺风新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;C23C16/458 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 朱晓凯 |
| 地址： | 213123 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种改善石墨舟高频的陶瓷杆，其技术方案要点是：包括若干个第一石墨舟片，若干个所述第一石墨舟片的一侧设置有第二石墨舟片，所述第一石墨舟片与所述第二石墨舟片的一侧均开设有若干个螺纹孔，所述第一石墨舟片和所述第二石墨舟片上对应的两个所述螺纹孔为一组，所述第一石墨舟片的一侧设置有石墨螺母，所述石墨螺母与对应两个所述螺纹孔的内部螺纹安装，所述第一石墨舟片通过所述螺纹孔和所述石墨螺母与所述第二石墨舟片固定安装在一起；绝缘组件，所述绝缘组件设置在所述第一石墨舟片的一侧，用于确保石墨舟拆装过程与舟叶无摩擦，通过设置石墨螺母，通过石墨螺母可以将第一石墨舟片与第二石墨舟片固定在一起。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改善 石墨 高频 陶瓷 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
