[实用新型]基于晶圆取送的电气控制箱有效
| 申请号： | 202221429774.2 | 申请日： | 2022-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN217546508U | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 孙志浩;陈守俊 | 申请（专利权）人： | 莱腾仕精密机电（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H05K5/02 | 分类号： | H05K5/02;H05K7/20;H05K7/14;B01D46/10 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 徐秀秀 |
| 地址： | 200131 上海市浦东新区中国（上海）*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种基于晶圆取送的电气控制箱，所述基于晶圆取送的电气控制箱包括：内箱体和外箱体；所述内箱体包括第一内箱体、第二内箱体、第三内箱体和第四内箱体；所述第一内箱体、所述第二内箱体、所述第三内箱体和所述第四内箱体以及所述外箱体封闭形成电气控制箱，所形成的封闭空间中容纳所述控制电路；所述第一内箱体固定连接供电设备，所述第二内箱体固定连接驱动设备，所述第三内箱体固定连接第一过滤设备，所述第四内箱体固定连接第二过滤设备，所述外箱体固定连接电路保护设备。本实用新型提供了一种晶圆取送功能控制电路所用的便于移动的全封闭电气控制箱。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 晶圆取送 电气 控制箱 | ||
【主权项】：
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