[实用新型]一种CVD设备中Loadlock传动机构

摘要

本实用新型公开了一种CVD设备中Loadlock传动机构，涉及Loadlock传动以及控制技术领域，针对原有的丝杆和导杆传动机构在使用时，对于其采用伺服编码器的控制方式，系统传动刚度弱，存在累积误差的问题，现提出如下方案，其包括Loadlock腔体，所述Loadlock腔体的下方设置有Loadlock传动机构。该装置采用丝杆和直线导轨为一体的模组形式，整体的传动刚性更好，模块化的部件安装更方便，装配精度更易保证，相比于原有机构可靠性更高，后期的保养维护更方便；通过绝对值式的直线编码器与伺服电机组成闭环控制，可以准确检测到casstte中wafer的实际位置，控制精度更高。