[实用新型]一种晶圆片架及晶圆包装有效

专利信息
申请号: 202221470353.4 申请日: 2022-06-13
公开(公告)号: CN217478013U 公开(公告)日: 2022-09-23
发明(设计)人: 雷艳 申请(专利权)人: 天通瑞宏科技有限公司
主分类号: B65D81/05 分类号: B65D81/05;H01L21/673
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 杨雪
地址: 314499 浙江省嘉兴市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型涉及晶圆包装技术领域,公开了一种晶圆片架及晶圆包装。所述一种晶圆片架包括片架主体,片架主体上设置有多个沿预设方向排布的容置槽和若干凸点组件,每个凸点组件与一个容置槽对应设置。至少部分容置槽的槽壁设置为标记颜色,通过标记颜色将连续排布的容置槽划分成若干区段,减少了使用者需辨别的容置槽数量,可更方便地区分各个容置槽。而凸点组件可以对容置槽更精细化标记,使使用者更高效、准确地将晶圆放置在晶圆片架内,减少了晶圆磨损,降低了晶圆破碎的概率。所述一种晶圆包装通过设置上述的晶圆片架使晶圆能更准确地放置在容置槽内,故在将晶圆片架放置在晶圆盒体内时不易挤压晶圆,降低了晶圆破碎的概率。
搜索关键词: 一种 晶圆片架 包装
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