[实用新型]一种全自动固晶机的固晶结构有效
| 申请号： | 202221506957.X | 申请日： | 2022-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN218004785U | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 杨军;李婷 | 申请（专利权）人： | 深圳平晨半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/683;B08B5/04;B08B1/00 |
| 代理公司： | 深圳市燊汇智诚专利代理事务所(普通合伙) 44725 | 代理人： | 潘聪聪 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区坂*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种全自动固晶机的固晶结构。所述全自动固晶机的固晶结构包括：底座；对接板，所述对接板可扣合在所述底座的顶部；工作槽，所述工作槽开设在所述底座的顶部；风机，所述风机固定安装在所述底座的底部；水箱，所述水箱固定安装在所述底座的底部，所述风机的出风管延伸至所述水箱内；吸尘管，所述吸尘管设置在所述底座上，所述吸尘管的进风端与所述工作槽相连通，所述吸尘管的出风端与所述风机的进风管相连通；固定座，所述固定座固定安装在所述工作槽的底部内壁上。本实用新型提供的全自动固晶机的固晶结构具有能够对工作槽内进行除尘，使其灰尘排出，避免浮灰对工作影响，也避免了后续人工清理麻烦的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全自动 固晶机 结构 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
