[实用新型]一种蒸发源结构及蒸镀设备有效
| 申请号： | 202221510387.1 | 申请日： | 2022-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN217499389U | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 廖承丰;郭鸿杰;陈觉义;马博;余刚 | 申请（专利权）人： | 杭州星河材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 潘登 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市滨江区浦*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型属于真空设备技术领域，公开了一种蒸发源结构及蒸镀设备，该蒸发源结构包括第一管件、第二管件、连接管、导向套以及第一密封件，第一管件、连接管及第二管件能够共同形成介质通道，第二管件通过导向套和第一密封件与连接管进行密封连接，导向套的第一端插接于第二管件内，导向套的第二端插接于连接管内，第一密封件套设于导向套上，沿第一密封件的轴线方向，第一密封件的两端分别抵接连接管和第二管件，保证介质通道的密封性以及外部的真空环境，蒸发源由第一管件移动至第二管件的过程中不发生偏移，能够顺利通过导向套且不与第一密封件和介质通道的内壁发生碰撞而损坏，保证蒸发源有足够的刚度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 结构 设备 | ||
【主权项】：
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