[实用新型]半导体装置有效
申请号: | 202221529608.X | 申请日: | 2022-06-16 |
公开(公告)号: | CN217847962U | 公开(公告)日: | 2022-11-18 |
发明(设计)人: | 李尚融;林士豪;耿文骏;杨智铨;黄志翔;王屏薇 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/10;H01L29/423;H01L29/417;H01L29/78 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 闫华 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种半导体装置,半导体装置包括多个通道层,设置在高台上方,其中高台的多个侧壁朝向高台的中心向内弯曲,使得高台的中部的宽度窄于高台的顶部的宽度;栅极结构,包裹多个通道层的每一个并与高台物理接触;外延源/漏极部件,邻接多个通道层;以及隔离部件,沉积在高台的多个侧壁和外延源/漏极部件的多个侧壁上。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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