[实用新型]测量辅助结构、晶棒检测装置和蓝宝石晶片生产系统有效
申请号: | 202221530322.3 | 申请日: | 2022-06-16 |
公开(公告)号: | CN219132803U | 公开(公告)日: | 2023-06-06 |
发明(设计)人: | 孙健;宋亚滨;翟虎;陆继波;周文辉 | 申请(专利权)人: | 甘肃旭晶新材料有限公司;北京远大信达科技有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人: | 吴瑛 |
地址: | 735000 甘肃省酒泉市肃州区*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | 本实用新型涉及蓝宝石晶片的生产加工领域,公开了一种测量辅助结构、晶棒检测装置和蓝宝石晶片生产系统,该测量辅助结构包括固定支架、设置在固定支架上的晶棒装载导轨和半圆卡扣,以及半圆柱填充块,晶棒装载导轨和半圆卡扣围合形成用于装载晶棒和半圆柱填充块的填充空间,晶棒能够由半圆柱填充块支撑为与晶棒装载导轨和/或半圆卡扣抵接固定;晶棒装载导轨包括第一端和第二端,第一端用于置入/取出晶棒,第二端靠近定向测量仪测量台设置,以允许晶棒紧贴定向仪测量台进行晶向测量。本实用新型解决了由于现有的测量蓝宝石晶棒的晶向主要靠操作员用手拖着晶棒使晶棒M面紧贴定向仪测量台进行测量,导致影响晶片良品率且生产效率低的技术问题。 | ||
搜索关键词: | 测量 辅助 结构 检测 装置 蓝宝石 晶片 生产 系统 | ||
【主权项】:
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