[实用新型]用于晶圆的半自动清洁毛刺设备有效
| 申请号： | 202221531690.X | 申请日： | 2022-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN217748227U | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 颜博 | 申请（专利权）人： | 苏州新尚思自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B1/02;B08B15/04;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 汪青;方中 |
| 地址： | 215200 江苏省苏州市吴江区太湖新城*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及用于晶圆的半自动清洁毛刺设备，其包括：机架，其具有清洁毛刺区、集尘区；手持吸笔；刮除装置，其包括定位平台、刮刀、调节单元、第一驱动单元；暂存装置，其包括形成有晶圆暂存区的暂存单元、第二驱动单元，其中刀口位于暂存区的上方或下方，且暂存区具有与晶圆相匹配的定位状态、在定位平台运动方向上避让晶圆的避让状态；集尘装置，其设置于集尘区内，并用于收集清洁毛刺区内的灰尘。本实用新型一方面有效避免人为影响造成的位置偏差，提高刮刀与晶圆之间的配合精度，同时能够对刮刀进行灵活调节，消除清洁死角，提高清洁精度，保证清洁效果；另一方面能够确保在放料时工人的手部远离刮刀，提高操作安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 半自动 清洁 毛刺 设备 | ||
【主权项】：
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