[实用新型]一种用于靶材工件切换的夹持装置有效
| 申请号： | 202221558062.0 | 申请日： | 2022-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN217677756U | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;吴铭乐 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 韩承志 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于靶材工件切换的夹持装置，所述用于靶材工件切换的夹持装置包括底板，所述底板的表面均匀分布有至少两个扇形基座，所述的至少两个扇形基座中心对称设置，沿所述扇形基座的表面分别依次设置有至少两个弧形限位槽，所述的至少两个弧形限位槽与底板的中心之间的距离依次递增，所述的弧形限位槽内分别可拆卸设置有快换子爪，所述的快换子爪用于夹持靶材工件。本实用新型通过扇形基座与快换子爪的配合使用，实现不同直径靶材工件的快速切换，加快了产品拆卸与安装速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 工件 切换 夹持 装置 | ||
【主权项】：
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