[实用新型]双腔原子层沉积进气结构

摘要

本实用新型涉及一种双腔原子层沉积进气结构，包括嵌套设置的外腔室和内腔室，所述外腔室底部设有加热器、载物台，所述内腔室位于载物台上，内腔室的两端分别设有抽气管、前驱体扩散器，所述前驱体扩散器的端部安装有匀气组件，匀气组件包括若干个轴向叠加的匀气片。本实用新型结构紧凑、合理，操作方便，外腔室带有加热结构，内部还设有载物台，内腔室具有独立的抽气结构，内腔室的前端带有锥形的前驱体扩散器，前驱体扩散器的前端有匀气组件，能够在气体注入前驱体扩散器的同时，增强前驱体源的扩散性。